Epitaxie

Epitaxie, Bezeichnung für eine Reihe von Verfahren zur Herstellung kristalliner Stoffe mit einer bestimmten Struktur wie z. B. Schichten aus hochwertigem, halbleitendem Silicium für Computerchips. Moleküle des Stoffes werden auf einem Feststoffsubstrat so abgelagert, dass sie die Struktur des Substrats nachahmen. Die Moleküle können aus der flüssigen oder der gasförmigen Phase abgeschieden werden. Bei der Molekularstrahlepitaxie werden Molekularstrahlen des gewünschten Stoffes auf das Substrat geleitet und treten mit dem Substrat in Wechselwirkung.